|
Výroba polovodičových součástek na křemíku
Ježek, Vladimír ; Mikulík, Petr (oponent) ; Špinka, Jiří (vedoucí práce)
Předkládaná práce se zabývá problematikou základních technologií a procesů pro výrobu polovodičových součástek na křemíkovém substrátu. Uvádí procesy vytváření vrstvy oxidu křemičitého pomocí oxidace, vytváření struktur pomocí fotolitografie, dotování příměsí do oblastí vymezených fotolitografií pomocí difúze až po vytváření kontaktů a vodivých cest naprašováním. Dále se zabývá technologickým postupem výroby konkrétních součástek na křemíku, popisem těchto součástek i měřením, výpočtem růstu oxidu křemičitého, výpočtem difúze. Výsledkem jsou naměřené charakteristiky charakteristik součástek plus jejich vyhodnocení.
|
|
Výroba polovodičových součástek na křemíku
Ježek, Vladimír ; Mikulík, Petr (oponent) ; Špinka, Jiří (vedoucí práce)
Předkládaná práce se zabývá problematikou základních technologií a procesů pro výrobu polovodičových součástek na křemíkovém substrátu. Uvádí procesy vytváření vrstvy oxidu křemičitého pomocí oxidace, vytváření struktur pomocí fotolitografie, dotování příměsí do oblastí vymezených fotolitografií pomocí difúze až po vytváření kontaktů a vodivých cest naprašováním. Dále se zabývá technologickým postupem výroby konkrétních součástek na křemíku, popisem těchto součástek i měřením, výpočtem růstu oxidu křemičitého, výpočtem difúze. Výsledkem jsou naměřené charakteristiky charakteristik součástek plus jejich vyhodnocení.
|
| |
| |
| |
|
Study of layers of Pd on InP
Černohorský, Ondřej ; Žďánský, Karel ; Proška, J.
Pd nanoparticles were prepared in colloid solution stabilized by AOT. The layers were prepared by electrophoretic deposition through the mask of polystyrene spheres. SEM measurement showed that particles in colloid solution are separated and after deposition they form small aggregates on InP. The size of these aggregates depends on the time of deposition. I-V characteristics were measured and then Schottky barrier height and ideality factor were calculated. The morphology of layers was monitored by SEM.
Plný tet: UFE 0374575 - PDF Plný text: content.csg - PDF
|
| |
| |
| |
|
Films of Metal Nanoparticles Deposited on Semiconductors by Electrophoresis: Technology and Characterization
Žďánský, Karel ; Zavadil, Jiří ; Kacerovský, Pavel ; Kostka, František ; Lorinčík, Jan ; Černohorský, O. ; Fojtík, A. ; Müller, M. ; Kostejn, M.
Layers of nanoparticles in micelle enclosures were deposited on InP substrates by electrophoresis from isooctane colloid solutions containing Pd or Ag nanoparticles. The layers were investigated by SIMS, low-temperature photoluminescence spectroscopy and topography, absorption spectroscopy, Raman spectroscopy and sensitivity to hydrogen. Photoluminescence of InP was enhanced by the layers of Pd or Ag nanoparticles. Schottky barriers made on the n-type InP with layers containing Pd nanoparticles showed significant sensitivity to hydrogen in contrast to those containing Ag nanoparticles.
|